ГОСТ 25196-82 Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
Описание:
Обозначение: ГОСТ 25196-82
Статус: действующий
Название русское: Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
Название английское: Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements
Дата издания: 04.05.1982
Дата введения в действие: 30.06.1983
Область и условия применения: Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники
Текст ГОСТ 25196-82
ГОСТы
Нормативные документы
