23.160 Вакуумная технология * Включая вакуумные насосы (в редакции изменений N 1/2003)
ГОСТ 25196-82 Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
ГОСТ Р 52615-2006 Компрессоры и вакуумные насосы. Требования безопасности. Часть 2. Вакуумные насосы
ГОСТ Р 54807-2011 Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов
ГОСТы
Нормативные документы