Гостинформ
> Общероссийский классификатор стандартов
> 71 Химическая промышленность
> 71.080 Органические химические вещества
> 71.080.99 Органические химические вещества прочие
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия
Описание:
Обозначение: ГОСТ Р 52250-2004
Статус: действующий
Тип: ГОСТ Р
Название русское: Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия
Название английское: Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications
Дата издания: 02.07.2004
Дата введения в действие: 01.01.2005
Область и условия применения: Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
Текст ГОСТ Р 52250-2004
ГОСТы
Нормативные документы
