ГОСТ 5.2105-73 Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
Описание:
Обозначение: ГОСТ 5.2105-73
Статус: действующий
Название русское: Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
Название английское: Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products
Дата издания: 04.10.1973
Дата введения в действие: 31.08.1973
Область и условия применения: Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов
Текст ГОСТ 5.2105-73
ГОСТы
Нормативные документы
