ГОСТ Р 8.628-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Описание:
Обозначение: ГОСТ Р 8.628-2007
Статус: действующий
Тип: ГОСТ Р
Название русское: Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Название английское: State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Requirements for geometrical shapes, linear sizes and manufacturing material selection
Дата издания: 10.02.2011
Дата введения в действие: 01.02.2008
Переиздание: переиздание с изм. 1
Область и условия применения: Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м.
Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых атомно-силовых измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.630 при проведении государственного метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов
Список изменений: №1 от (рег. ) «Срок действия продлен»
Приложение №0: Изменение №1 к ГОСТ Р 8.628-2007
Текст ГОСТ Р 8.628-2007
Приложения к ГОСТу
Изменение №1 к ГОСТ Р 8.628-2007
Обозначение: Изменение №1 к ГОСТ Р 8.628-2007
Дата введения в действие: 01.04.2011
ГОСТы
Нормативные документы
