ГОСТ Р 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки
Описание:
Обозначение: ГОСТ Р 8.659-2009
Статус: действующий
Тип: ГОСТ Р
Название русское: Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения при технологическом контроле в нанофотолитографии. Методика поверки
Название английское: State system for ensuring the uniformity of measurements Instruments measuring the characteristics of ultraviolet radiation of technological testing of nanophotolitography.Verification procedure
Дата издания: 11.05.2010
Дата введения в действие: 01.01.2011
Область и условия применения: Настоящий стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения, используемые при технологическом контроле в нанофотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок
Текст ГОСТ Р 8.659-2009
ГОСТы
Нормативные документы
