ГОСТ Р 8.640-2008 Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
Описание:
Обозначение: ГОСТ Р 8.640-2008
Статус: действующий
Тип: ГОСТ Р
Название русское: Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
Название английское: State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods
Дата издания: 15.05.2008
Дата введения в действие: 01.01.2009
Область и условия применения: Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок
Текст ГОСТ Р 8.640-2008
ГОСТы
Нормативные документы
