ГОСТ Р 8.627-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений
Описание:
Обозначение: ГОСТ Р 8.627-2007
Статус: действующий
Тип: ГОСТ Р
Название русское: Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений
Название английское: State system for еnsuring the uniformity of measurements. Measurements of coefficients of regular and diffuse transmittance of ultraviolet radiation. Methods for measurements
Дата издания: 24.04.2007
Дата введения в действие: 30.06.2007
Область и условия применения: Настоящий стандарт распространяется на методику выполнения измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения, используемых для определения оптических констант материалов и тонких пленок, коэффициентов отражения зеркал и эффективности дифракционных решеток, а также при контроле технологических процессов в микроэлектронике
Текст ГОСТ Р 8.627-2007
ГОСТы
Нормативные документы
